UV-3700
UV-VIS Spectrophotometer

คุณลักษณะทั่วไป

เป็นเครื่องวิเคราะห์?ใช้หลักการ การดูดกลืนแสงของสารประกอบที่สามารถตรวจวัดได้ในช่วงคลื่น UV-Visible-Near IR เป็นลำแสงคู่ (Double Beam) ที่ออกแบบมาสำหรับแก้ปัญหาในการวัดตัวอย่างที่มีขนาดใหญ่ในกลุ่มอิเล็คทรอนิค เช่น Silicon wafer หรือ Semiconductor ซึ่งสามารถวัดตัวอย่างได้โดยตรง ไม่ทำให้ชิ้นงานเสียหาย

คุณลักษณะเฉพาะ

High Resolution, Ultra-Low Stray light and Wide ? range

3-Detectors attached to Integrating Sphere

ระบบแยกแสงเป็นแบบ High Performance Double Monochromator โดยมี Grating 2 ชุด สำหรับแยกแสง ซึ่งจะทำให้ค่า Stray light มีค่าน้อยมาก สามารถตรวจวัดค่า Resolution ของลำแสงได้ละเอียดถึง 0.1 nm สามารถใช้งานได้กว้างในช่วงความยาวคลื่น 190 – 3300 nm และสามารถตรวจวัดตัวอย่างได้ในช่วงคลื่น Deep UV ที่ความยาวคลื่น 165 nm สำหรับรุ่น SolidSpec-3700DUV ซึ่งครอบคลุ่มในช่วงคลื่น UV-Visible-Near IR และสามารถปรับความกว้างของลำแสงได้ ถึง 6 step ในช่วงคลื่น UV-VIS และปรับได้ 10 step ในช่วง NIR

High Sensitivity, The First in the World with 3 Detectors

12 inch Silicon wafer on Automatic X-Y Stage

UV-3600 ได้มีการปรับปรุงให้มีประสิทธิภาพสูงขึ้นโดยเฉพาะเพิ่มตัวตรวจวัด (Detector) ให้มีถึง 3 ชนิดเพื่อให้ครอบคลุ่มตลอดช่วงความยาวคลื่น คือ Photpmultiplier tube, PMT (165-1100nm), PbS (1600-3300nm) และ InGaAs (700-1800nm) ซึ่งเป็นตัวสำคัญในการเพิ่ม Sensitivity เพราะในช่วงรอยต่อระหว่างช่วงคลื่น VIS กับ NIR จะทำให้ Sensitivity จะลดลง UV-3700 จึงได้เพิ่ม InGaAs detector ซึ่งจะครอบคลุ่มช่วงความยาวคลื่น VIS กับ NIR จะทำให้ค่า noise ในการวัดน้อยกว่า 0.00003 Abs. ซึ่งเป็นค่าที่น้อยที่สุดในโลก

Large Sample Compartment

Large sample Compartment

สามารถตรวจวัดชิ้นงานตัวอย่างได้โดยตรง โดยขนาดใส่ชิ้นงานใหญ่ที่สุดได้ขนาด 700(W) x 560(D) x 40(H) mm และมีชุด Automatic X-Y Stage ที่สามารถเลื่อน หรือหมุนตำแหน่งมุมที่ต้องการวัดได้ โดยควบคุมการทำงาน ด้วยคอมพิวเตอร์

 

 

Wavelength range :
Solidspec-3700 : 240–2,600 nm, 190-3,300 nm (when using Direct Detection Unit
DDU)
Solidspec-3700DUV : 175–2,600 nm, 165-3,300 nm (when using Direct Detection
Unit DDU-DUV)
Photometric range : – 6 to 6 Abs
Wavelength Accuracy : + 0.2nm (UV-VIS range)
+ 0.8nm (Near infrared range)
Spectrum bandwidth :
8 steps in UV – Visible (0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 3, 5, 8 nm)
10 step in NIR (0.2, 0.5, 1, 2, 3, 5, 8, 12, 20, 32 nm)
Monochromator :
– Grating
– Grating type monochromator
– Pre-monochromator : Concave diffraction monochro
mator (2 switchable diffraction gratings)
– Main monochromator : Czerny-Turner mounting
(2 switchable diffraction gratings)
– High-performance blazed holographic grating in
aberration-corrected
Stray light : < 0.00008% (220 nm, NaI)
Noise : 0.0002 Abs max. (500 nm),
0.00005 Abs max. (1,500 nm)
0.00005 Abs max. (500 nm),
0.00008 Abs max. (900 nm),
0.00003 Abs max. (1,500 nm)
when using the Direct Detection
Unit DDU/DDU-DUV
Three Detectors :
1. PMT (photomultiplier tube) detectors for the ultraviolet
and visible regions (165 to 1,000 nm)
2. InGaAs detectors for the near-infrared region
(700 to 1,800 nm)
3. PbS detectors for the near-infrared region
(1,600 to 3,300 nm)
Sample compartment
: Maximum sample size : 700W   560D   40H (mm),

LEAVE A REPLY

Please enter your comment!
Please enter your name here